世界智能大会

当下5G时代的帘幕已然被揭开，万物智能互联的时代来临，无人驾驶、虚拟现实、智慧城市、物联网已经成为了我们日常生活中常见的词语。就拿我们手边的手机来说，通讯性能作为手机的重要指标之一，已经成为中国手机制造商提升产品竞争力的重要突破口。

射频滤波芯片因设计、工艺难度高，被视为芯片行业“皇冠上的明珠”是现代无线通信、5G、物联网、人工智能等诸多行业的核心与基石。高端滤波芯片的市场份额长期都被欧美大厂所垄断，直到诺思微系统的出现，具有自主技术的国产厂商才占据一席之地，开始进入市场并逐步具备竞争力。

2011年，一批海外归国人员创办了中国首家薄膜体声波谐振滤波芯片制造企业——诺思（天津）微系统有限责任公司。这批归国博士放弃了国外半导体巨头企业优渥的待遇，踌躇满志，励志学成归来，报效祖国，势必要为中国半导体事业做出贡献。他们将个人梦想与国家发展统一，愿为中国半导体自立图强贡献毕生力量。

一颗高端滤波芯片的制造工艺非常复杂，一条生产线大约涉及50多种精密设备、300多道工艺步骤。诺思微系统的滨海工厂位于天津市经济技术开发区，2017年第三季度正式通线，厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米，目前该工厂月生产能力已达到3000万颗。

诺思的整座晶圆厂是一个高标准的无尘室，为了保持生产环境的绝对洁净，外来的空气必须先经过精细的高效过滤，将比头发丝小50倍的0.1微米的颗粒都挡在洁净室外。无尘室中的温度、湿度、静电、压力、磁场以及震动等都需要严格控制，而制造芯片所需要的纯水、化学品与气体等，则是从无尘室外围透过纵横分布的管道，直接输送到各类制造设备上。在制作环节上主要分为：光刻区、薄膜区、刻蚀区、减薄区、晶圆测试区等，工厂生产基本上摆脱了对人工操作的依赖，在生产线上可以达到80%以上的智能自动化。

如今，公司参与研发人员近百人，在体声波滤波领域已申请的国内发明专利达320项，国际PCT专利130项，在滤波器设计、器件结构、工艺、封装等多方面建立起强有力的技术壁垒。今年三月，作为国内唯一具备大规模量产交付能力的平台，诺思牵头国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”正式启动，未来3年内诺思的量产产线将力争达到年产20亿颗芯片的产能规模，为解决高端射频滤波芯片的国产供应提供保障。

来源：津云客户端